一种直接对真空室内被校准真空计进行加热的温控装置

摘要

本发明公开了一种直接对真空室内被校准真空计进行加热的温控装置，属于高真空计量校准领域。所述温控装置主要包括它由块状加热单元、温度传感器、电控单元、加热夹具和加热夹具底座；该温控装置可直接在真空室内部对被校准真空计进行加热，可加热温度范围大，加热功率低；加热夹具的加热区域几何尺寸符合“二线场”等势线分布，温度均匀性好，且由于真空保温作用，温度稳定性好，无需水循环冷却系统，对真空室其他部分温度影响小；为高温下对高真空量程真空计进行精确校准提供了基础。