一种排除电性噪声干扰的方法

摘要

本发明涉及集成电路制造技术领域，尤其涉及一种应用于半导体器件电性测试工艺的排除电性噪声干扰的方法，在半导体器件可接受测试(WAT)前，针对微小电流测试，以聚焦电子束做预处理，利用器件各组成部分形成的单一P型/N型结构，利用表面电荷积累形成的电势差使材料内无序电荷在电场作用下向一端聚集并释放，以排除电性干扰对测试的影响，从而使得后续的电性测试获得稳定准确的测试结果。