一种UV处理机台工艺性能的日常检查方法

摘要

一种UV处理机台工艺状态的日常检查方法，包括以下步骤：步骤1、将一硅光片送入一UV处理机台中，并将所述UV处理机台的工艺温度稳定在一基准值；步骤2、采用一UV光对所述硅光片进行照射，以得到UV处理机台在一段时间内的温度变化率；步骤3、对所述温度变化率进行监控。使用所述检查方法的有益效果为：1)及时：监控工艺条件执行完毕就可得到检查结果；2)准确：通过传感器直接收集温度数据，可排除光阻差别等中间环节带来的误差；3)低成本：降低了硅片、光阻、量测等的物料及机时成本；4)低风险：降低了光阻片在使用固胶工艺监控及再生过程中的颗粒、胶残留对硅片及机台的污染等风险。