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导电薄膜、用于形成导电薄膜的涂布液、场效应晶体管、以及用于生产场效应晶体管的方法

摘要

提供导电薄膜,其包含:含有铟和锡的金属氧化物;以及金。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-03-06

    授权

    授权

  • 2015-01-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/786 申请日:20130314

    实质审查的生效

  • 2014-12-10

    公开

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