一种基于莫尔条纹的球面镜曲率半径测量方法

摘要

本发明公开了一种基于莫尔条纹的球面镜曲率半径测量方法，使用待测球面与参考平面干涉产生的干涉条纹与基于计算机仿真的已知曲率半径的球面与平面干涉产生的干涉条纹叠加，通过频域低通滤波，将携带两幅干涉图差频信息的莫尔条纹提出，携带差频信息的莫尔条纹可视为待测球面与计算机仿真的已知曲率半径的球面干涉产生的干涉图。通过莫尔条纹和计算机仿真球面的曲率半径将待测球面的曲率半径算出。本发明采用非接触式的测量方法避免了对球面镜表面的损坏，为大曲率半径球面镜曲率半径的无损伤测量提供了可行的方法。