法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-02-23
授权
授权
2017-09-19
著录事项变更 IPC(主分类):F28B9/10 变更前: 变更后: 申请日:20160630
著录事项变更
2016-11-09
实质审查的生效 IPC(主分类):F28B9/10 申请日:20160630
实质审查的生效
2016-10-12
公开
公开
机译: 一种用于将工件和真空装置之间的固定距离预先选择并锁定为射束光刻系统颗粒的装置。
机译: 一种用于固定照相机的装置,该装置在借助于能够被密封的空间,特别是所操作的科普梁式射束机的真空空间,例如电子显微镜的挡板等中产生摄影图像时,能够固定照相机。插入这个空间
机译: 一种用于清洁在OLED装置中使用的真空系统的方法,一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的方法以及一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的装置