一种圆盘多环内双梁孤立圆环谐振陀螺及其制备方法

摘要

本发明提供了一种圆盘多环内双梁孤立圆环谐振陀螺及其制备方法，包括一个基底；一个圆盘多环内双梁孤立圆环谐振器，包含中央圆柱、多个双梁孤立圆环和多个同心圆环，其中：中央圆柱与所述基底相连，同心圆环之间通过多个辐条相连，多个双梁孤立圆环的两端均分别与中央圆柱和同心圆环中最小圆环内侧相连；一组分布在所述圆盘多环内双梁孤立圆环谐振器外围边缘的电极，且每个电极分别与所述基底相连。本发明具有体积小、结构稳定、响应灵敏等优点，具有良好的对称性，因而可以达到较高的性能。