具有集成传感器和驱动器的小型传动装置及其磁存储系统

摘要

一种与驱动器和相对位置误差传感电路集成的小型传动装置形成在单个硅基片上。该集成小型传动装置/电子模块设置在悬浮和浮动块/传感器组件之间，以在磁盘驱动器的盘的数据磁迹上提供浮动块/传感器的快速、小的运动位置控制。小型传动装置电子设备与小型传动装置的集成用磁传感信号减小了寄生负载和干扰问题。电子电路建立在硅片上，随后淀积一个平面层和一个接地层，用于与建立在电路的顶部的小型传动装置隔离。