磁敏集成角度传感器及其测量研究

摘要

该文研制了一种无触点的十字形两维集成垂直霍尔器件，它对平行于芯片表面的磁场敏感。当与被测转角(α)的物体轴向相连的径向永久磁铁转动时，磁场分量B<,X>，B<,Y>分量相对变化，造成两对集成霍尔板输出电量相应地变化。这时传感器通过tan<'-1>(V<,x>/V<,y>)可求得转角α，从而达到测量角度的目的。测量结果表明角度测量的分辨率可达1<'0>。