光学系统中的焦点和其他特征的测量

摘要

本发明公开了识别光学系统的焦点的位置，在一些实施方案中，所述识别光学系统的焦点的位置包括使用传感器系统来检测通过所述光学系统的光，并且基于所述传感器系统的焦点的位置，确定所述光学系统的焦点的位置，所述传感器系统的所述焦点的所述位置基本匹配所述光学系统的所述焦点的所述位置。