一种反向低驱动电压双侧泵膜无阀静电微泵及其制备方法

摘要

本发明公开了属于微流控技术领域的一种反向低驱动电压双侧泵膜无阀静电微泵及其制备方法。所述的静电微泵是以泵腔为对称轴的为上下对称结构，泵腔的上下两侧分别为驱动单元，左右两端分别为入口和出口；驱动单元由外至内依次为固定电极、绝缘层、隔离层和泵膜，隔离层内部为不连续结构以形成驱动单元空腔，保证泵膜的振动空间；加在固定电极上的反向驱动电压的频率与泵膜的固有频率的偏离度为0‑10％，以获得共振效应，使泵膜的振幅加大。所述的静电微泵在微泵结构固定的情况下，显著降低了所需静电微泵的驱动电压，能以较低的驱动电压获得较大的泵出量，提高微泵工作效率。