层叠膜、有机电致发光装置、光电转换装置和液晶显示器

摘要

本发明的层叠膜为具有基材和薄膜层且薄膜层满足条件(i)、(ii)、(iii)的层叠膜。(i)含有硅原子、氧原子、碳原子和氢原子。(ii)表示厚度方向上的相对于各原子的合计量的硅原子、氧原子和碳原子的比率的硅分布曲线、氧分布曲线和碳分布曲线中，各原子的分布曲线各自为连续的，且碳分布曲线具有至少一个极值。(iii)在一层的薄膜层中，该层的内部构成密度不同的多层，各层的厚度相对于层整体的厚度具有10％以上的厚度，最靠近基材侧的层A的密度X与密度最高的层B的密度Y具有式(1)的关系，X