用于绝对距离测量的光学调制传递函数分析方法

摘要

本发明涉及用于绝对距离测量的光学调制传递函数分析方法，是一种用于毫米量级的绝对距离测量方法，属于光电技术领域。本发明通过在测量光路出瞳面设置离散光阑孔，分别采集参考光波和测量光波，两束光波经聚焦透镜发生干涉衍射，通过探测焦面光强分布得到点扩散函数，进而得到光学调制传递函数。采用分段式四次多项式拟合获得调制传递函数侧峰峰值与绝对距离的函数关系。对于不同的被测绝对距离，通过测量调制传递函数侧峰峰值，利用拟合的函数关系进行计算，即可实现绝对距离的高精度测量。该方法测量迅速，原理简明，量程大，精度高，可用于高精度块规的标定、大型分块式主镜望远镜的共相位检测等方面。