等离子体生成装置和使用该等离子体生成装置的清洗装置

摘要

等离子体生成装置(1)配备有等离子体生成部(10)、等离子体电源部(2)和气体供给部(3)。等离子体生成部包括用于将液体容纳部(15)和气体容纳部(14)隔开的隔壁部(12)。隔壁部具有用于将从气体供给部供给的并且容纳在气体容纳部中的气体引导至液体容纳部的气体通路(13)。第一电极(18)配置在气体容纳部内并且第二电极(19)配置在液体容纳部内。等离子体电源部生成供给至第一电极和第二电极的电位，并且将第二电极的电位设置为比第一电极的电位低的值。第二电极由引起溅射现象的材料、材料化合物和材料混合器其中之一形成。