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公开/公告号CN104008943B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-02-16
原文格式PDF
申请/专利权人 FEI 公司;
申请/专利号CN201410066714.2
发明设计人 M.马佐斯;
申请日2014-02-26
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人马红梅
地址 美国俄勒冈州
入库时间 2022-08-23 10:07:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-02-16
授权
2016-03-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/21 申请日:20140226
实质审查的生效
2014-08-27
公开
机译: 聚焦离子束的低kV增强
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