公开/公告号CN104246981B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-02-13
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201380018920.X
发明设计人 约瑟夫·M·拉内什;
申请日2013-03-06
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:07:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-02-13
授权
授权
2015-05-20
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/205 申请日:20130306
实质审查的生效
2014-12-24
公开
公开
机译: 光学系统,用于控制通过圆锥形石英穹顶传输的光。
机译: 光学系统,用于控制通过圆锥形石英穹顶传输的光。
机译: 用于控制通过圆锥形石英圆顶的光的光学元件