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机译:微电子制造中用于石英光掩模热处理的约束前馈控制
feedforward control; temperature control; semiconductor manufacturing; TEMPERATURE CONTROL; SYSTEMS; UNIFORMITY; TIME;
机译:微电子制造中用于石英光掩模热处理的约束前馈控制
机译:基于热的微电子制造过程的模糊逻辑模型
机译:电子束处理微电子模块制造的计算机控制
机译:用于微电子晶圆和Quatz光掩模的微电子处理导电加热系统的最小时间最佳馈电控制
机译:前馈控制可减少微电子制造中的运行间差异。
机译:将热过氧化大豆油喂入育肥猪对商品化培根的加工特性和保质期的影响
机译:石英水界面的传输过程:水热开槽实验的制约