法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-12
授权
授权
2016-06-08
实质审查的生效 IPC(主分类):C01B31/02 申请日:20160125
实质审查的生效
2016-05-11
公开
公开
机译: 一种制备粒径增加的单分散聚合物颗粒的方法。
机译: 一种制备部分单次电子束曝光掩模的方法和一种使用该部分单次电子束曝光掩模直接绘制图案的方法。
机译: 一种制备部分单次电子束曝光掩模的方法和一种使用部分单次电子束曝光掩模直接绘制图案的方法。