公开/公告号CN105039915B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-01-05
原文格式PDF
申请/专利权人 东莞市汇成真空科技有限公司;
申请/专利号CN201510450277.9
申请日2015-07-28
分类号C23C14/32(20060101);
代理机构44104 广州知友专利商标代理有限公司;
代理人周克佑
地址 523838 广东省东莞市大岭山镇颜屋村第四工业区
入库时间 2022-08-23 10:05:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-21
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C14/32 变更前: 变更后: 申请日:20150728
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2018-01-05
授权
授权
2015-12-09
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/32 申请日:20150728
实质审查的生效
2015-11-11
公开
公开
机译: 施加导电且光学透明的金属层,方法是在真空下通过电弧放电将金属层沉积在基板表面上,该电弧放电连接在靶之间作为阴极
机译: 等离子处理系统及真空镀膜和表面处理,包括等离子机理,磁控管品尝,远程阳极,电弧放电,阴极盖,阳极,磁系统,电源阴极和电弧放电电源;一种涂覆基材的方法。
机译: 真空电弧蒸发器的磁性系统,用于蒸发阴极靶,其中心永磁体位于靶载体下方,外部永磁体的中心向内变形