法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-20
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C14/30 授权公告日:20171229 终止日期:20190402 申请日:20150402
专利权的终止
2017-12-29
授权
授权
2015-07-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B25/12 申请日:20150402
实质审查的生效
2015-06-17
公开
公开
机译: X射线光电子能谱仪,全反射X射线光电子能谱仪和角分辨X射线光电子能谱仪
机译: 脉冲分辨光电子能谱仪及脉冲分辨光电子能谱方法
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