一种基于激光诱导冲击波聚焦的空化植入方法及装置

摘要

本发明公开了一种基于激光诱导冲击波聚焦的空化植入方法及装置，包括将椭圆反射镜及待加工工件放置于工作液内；入射激光经过光路系统的反射且经过凸透镜的聚焦，其焦点作用于椭圆反射镜的近端焦点处；激光在近端焦点处诱导产生的等离子体冲击波及空化泡溃灭过程中产生的冲击波，以椭圆反射镜的近端焦点处为中心，球面向外传播；冲击波经过椭圆反射镜的反射，重新在椭圆反射镜的远端焦点处汇聚，重新汇聚增强的冲击波直接作用于工作液内的微细颗粒，将其植入工件表面。本发明使得激光诱导冲击波能量更为集中，提高激光诱导冲击波的利用效率，冲击波聚焦位置及其能量可调，更为有效地将工作液内的微细颗粒植入工件表面，提高靶材植入精度。