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公开/公告号CN104835715B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-01-09
原文格式PDF
申请/专利权人 英飞凌科技奥地利有限公司;
申请/专利号CN201510062601.X
发明设计人 J.鲍姆加特尔;G.埃伦特劳特;C.格鲁贝尔;A.哈格霍费尔;R.K.约希;M.屈恩勒;M.佩尔茨尔;J.施泰因布伦纳;
申请日2015-02-06
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人申屠伟进
地址 奥地利菲拉赫
入库时间 2022-08-23 10:05:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-09
授权
2015-09-09
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20150206
实质审查的生效
2015-08-12
公开
机译: 利用外延横向过生长和深垂直沟槽结构形成沟槽的方法
机译: 利用外延横向过度生长和深垂直沟槽结构形成沟槽的方法
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