三氯氢硅合成料中四氯化硅回收利用及除高沸物的方法和装置

摘要

本发明公开了一种三氯氢硅合成料中四氯化硅回收利用及除高沸物的方法和装置，其中所述装置包括：粗精馏塔，对三氯氢硅合成料进行分离，其中塔釜分离出三氯氢硅合成料中的四氯化硅及重组分杂质，塔顶分离出包括三氯氢硅和二氯二氢硅的轻组分；精馏塔，粗精馏塔的塔釜出来的四氯化硅及重组分杂质从塔釜进入精馏塔，塔顶精馏出四氯化硅，塔釜分离出重组分杂质；碱液水解罐，与精馏塔底部连接，精馏塔的塔釜分离出的重组分杂质通过差压输送的方式送入碱液水解罐。本发明的装置处理三氯氢硅合成料环保、成本低，实现四氯化硅回收利用。