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氧化锌基底诱导取向生长硒化锑薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种氧化锌基底诱导取向生长的硒化锑薄膜的方法,其特征在于,该方法是以特定取向的氧化锌基底诱导生长具有择优取向方向的硒化锑薄膜;当氧化锌基底为(100)取向时,诱导生长出的硒化锑薄膜是以<221>方向为主导生长取向;当氧化锌基底为(002)取向时,诱导生长出的硒化锑薄膜是以<120>方向为主导生长取向。本发明中的方法可应用于硒化锑薄膜太阳能电池的制备,得到相应的硒化锑薄膜太阳能电池。本发明通过对硒化锑薄膜制备工艺中关键的基底种类及其内部结构等进行改进,与现有技术相比,能够对生长的硒化锑薄膜其取向灵活调整,同时不依赖于硒化锑的沉积的基底温度。

著录项

  • 公开/公告号CN106910797B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-12-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 华中科技大学;

    申请/专利号CN201710176171.3

  • 申请日2017-03-23

  • 分类号H01L31/18(20060101);H01L31/032(20060101);H01L21/02(20060101);

  • 代理机构42201 华中科技大学专利中心;

  • 代理人许恒恒;李智

  • 地址 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

  • 入库时间 2022-08-23 10:05:27

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-12-29

    授权

    授权

  • 2017-07-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20170323

    实质审查的生效

  • 2017-06-30

    公开

    公开

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