单射频电源感应耦合等离子体刻蚀机

摘要

本发明公开一种单射频电源感应耦合等离子体刻蚀机，包括：射频电源、匹配器、自偏压生成电路、线圈组件、载片电极和反应腔室，其中，所述线圈组件位于所述反应腔室上方，所述载片电极位于所述反应腔室中且用于支撑晶圆；所述射频电源、所述匹配器及所述线圈组件依次串联，且所述线圈组件的另一端接地；所述自偏压生成电路包括第一电容器、第二电容器、第一扼流圈、第一可调电容器，所述第一电容的一端与所述匹配器的输出端相连接，另一端与所述第一扼流圈、所述第一可调电容器、所述第二电容器的一端相连接，所述第一扼流圈、第一可调电容器的另一端接地，所述第二电容器另一端与所述载片电极相连接。