基于磁性PDMS掩模的微坑阵列电解加工的系统与方法

摘要

本发明涉及一种基于磁性PDMS掩模的微坑阵列电解加工的系统与方法，属微细电解加工领域。包括：阴极工具（1）、PDMS掩模、阳极工件（3）、夹具（5）、电解液（6）、电源（7）；其特征在于：PDMS掩模为磁性PDMS掩模（2），在阳极工件（3）下方还布置有用于吸引所述磁性PDMS掩模（2），使其紧贴于所述阳极工件（3）表面的永磁体（4）。采用本发明进行电解加工，磁性PDMS掩模在磁场下可以紧密贴合在阳极工件表面，提高电解加工微坑阵列的定域性。