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形状测量装置、形状测量方法、和形状测量程序

摘要

本发明提供了形状测量装置、形状测量方法、和形状测量程序,其均能够在测量对象的形状测量之前,容易地将测量对象的姿态调节至适于形状测量的状态。在进行形状测量之前,光投射单元利用具有用于姿态检查的图案的光来照射测量对象。该状态下在显示部上显示被光接收单元捕获的测量对象的图像。当光投射单元用具有用于姿态检查的图案的光照射测量对象时,调节测量对象的姿态。

著录项

  • 公开/公告号CN103673924B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-12-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社其恩斯;

    申请/专利号CN201310413020.7

  • 发明设计人 中务贵司;

    申请日2013-09-11

  • 分类号

  • 代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司;

  • 代理人陈源

  • 地址 日本大阪府

  • 入库时间 2022-08-23 10:04:57

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-12-26

    授权

    授权

  • 2015-09-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/25 申请日:20130911

    实质审查的生效

  • 2014-03-26

    公开

    公开

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