公开/公告号CN104296881B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-12-15
原文格式PDF
申请/专利权人 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所;
申请/专利号CN201310627579.X
申请日2013-11-28
分类号
代理机构郑州睿信知识产权代理有限公司;
代理人胡泳棋
地址 471009 河南省洛阳市凯旋西路25号
入库时间 2022-08-23 10:04:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-15
授权
授权
2015-02-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J5/24 申请日:20131128
实质审查的生效
2015-01-21
公开
公开
机译: 一种使用扫描显微镜扫描样品的一部分的方法,计算机程序产品,计算机可读介质以及用于使用扫描显微镜扫描样品的一部分的系统
机译: 一种扫描装置,包括可旋转镜以及用于该扫描装置的驱动单元,以及用于该驱动单元的旋转体。
机译: 一种用于扫描样品表面的方法,特别是利用扫描探针显微镜