一种视觉假体柔性神经微电极焊盘的制备方法

摘要

本发明提供一种视觉假体柔性神经微电极焊盘的制备方法，包括：在基底上沉积一层聚对二甲苯薄膜；利用溅射、光刻和离子束刻蚀工艺形成图形化的金属薄层，旋涂光刻胶并露出所有焊点孔，通过反应离子刻蚀刻蚀掉焊点孔下方的聚对二甲苯；在焊盘端每一个环形金属焊点上利用光刻形成环形聚酰亚胺，并露出环形金属焊点孔周围的局部金区域；在环形聚酰亚胺上方利用溅射、光刻和离子束刻蚀工艺形成环形金属薄层；通过电镀金属工艺实现环形聚酰亚胺上、下环形金层的连接；沉积一层聚对二甲苯薄膜用来封装，通过反应离子刻蚀暴露出环形金属导电窗口，再从基底上释放包括焊盘在内的整个电极。本发明保证了电极的透明性、低渗透性和生物相容性。