公开/公告号CN1252541C
专利类型发明授权
公开/公告日2006-04-19
原文格式PDF
申请/专利权人 国际商业机器公司;
申请/专利号CN00103850.8
发明设计人 P·R·瓦拉纳斯;J·F·马尼斯卡科;
申请日2000-03-03
分类号G03F7/004(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人王景朝;王其灏
地址 美国纽约州
入库时间 2022-08-23 08:58:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-27
专利权有效期届满 IPC(主分类):G03F7/004 授权公告日:20060419 申请日:20000303
专利权的终止
2017-11-17
专利权的转移 IPC(主分类):G03F7/004 登记生效日:20171030 变更前: 变更后: 申请日:20000303
专利申请权、专利权的转移
2017-11-17
专利权的转移 IPC(主分类):G03F7/004 登记生效日:20171030 变更前: 变更后: 申请日:20000303
专利申请权、专利权的转移
2017-11-17
专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/004 登记生效日:20171030 变更前: 变更后: 申请日:20000303
专利申请权、专利权的转移
2017-11-17
专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/004 登记生效日:20171030 变更前: 变更后: 申请日:20000303
专利申请权、专利权的转移
2006-04-19
授权
授权
2006-04-19
授权
授权
2006-04-19
授权
授权
2000-10-11
公开
公开
2000-10-11
公开
公开
2000-10-11
公开
公开
2000-09-13
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
2000-09-13
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
2000-09-13
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
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机译: 光致抗蚀剂组合物包括环状烯烃聚合物,光敏酸产生剂和选自非甾族(多)-脂环族组分和饱和甾族组分的疏水性添加剂。
机译: 具有环烯烃聚合物和疏水性非甾体多脂环族添加剂的光致抗蚀剂组合物
机译: 具有环状烯烃聚合物和疏水性非甾体多脂环族添加剂的光致抗蚀剂组合物