波像差测量模块的畸变测量装置和畸变校正方法

摘要

本发明公开了一种波像差测量系统的畸变测量装置和畸变校正方法，该装置包含：光源、标准模板、波像差测量模块、精密调节台和数据处理单元，波像差测量模块由傅立叶透镜和图像采集元件共同组成，标准模板用于波像差测量模块的畸变测量中。本发明通过在光源和波像差测量模块之间放置标准模板，标准模板上制作有位置已知的高精度定位标记，由图像采集元件采集图像并输出至数据处理单元中。数据处理单元对图像进行定位标记的图像识别，然后进行畸变的映射计算，并对波像差测量结果进行畸变的位置校正和波像差数据的修正，提高波像差测量精度，对于干涉法和非干涉法的波像差测量模块的畸变测量都适用。