一种基于耦合调制的矩形环谐振腔高速电光调制器

摘要

一种基于耦合调制的矩形环谐振腔高速电光调制器，由单模光波导构成封闭的长宽比为7：3的长矩形，一条直条单模波导垂直穿过单模光波导的两长矩形长边，直条单模波导的一侧为正方形，另一侧为短矩形；单模光波导一侧的正方形三条边为谐振腔，单模光波导另一侧的短矩形三条边为相移臂；单模光波导之间的直条单模波导部分为参考臂；单模光波导长矩形外侧的两直条单模波导中，一边为输入波导，另一边为输出波导；在长矩形的单模光波导的直角外侧，沿波导传播方向呈45°角方向刻蚀有切面，构成全反射镜；单模光波导与直条单模波导交叉处，刻蚀有与单模光波导另一侧的短矩形上的全反射镜平行的微纳沟槽。