用于制造用于远紫外‑平版印刷的渗钛硅土玻璃构成的镜基质‑坯料的方法以及用于坯料中的缺陷的位置确定的系统

摘要

提出一种用于制造具有至少40毫米厚度的用于远紫外‑平版印刷的渗钛硅土玻璃构成的镜基质‑坯料的方法，其带有以下步骤:·a)平面磨削坯料的表面·b)测定关于在坯料的表面层中的缺陷的数据，其中，b1)光在所述坯料的平的表面的部位处以预先确定的小于90°的射入角α射入所述坯料中，b2)所述光在坯料中的缺陷处散射且b3)散射光相对在所述坯料的表面处的射入部位间隔x地由在其上垂直布置的光检测元件探测；·c)根据在方法步骤b)中获得的数据确定在表面层中的缺陷的位置·d)在考虑根据方法步骤c)的位置确定的情况下且在构造镜基质‑坯料的情况下部分地或完全地移除表面层。