法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-02
专利权的转移 IPC(主分类):G06T 7/30 登记生效日:20190314 变更前: 变更后: 申请日:20150430
专利申请权、专利权的转移
2017-11-17
授权
授权
2017-11-17
授权
授权
2015-09-02
实质审查的生效 IPC(主分类):G06T7/00 申请日:20150430
实质审查的生效
2015-09-02
实质审查的生效 IPC(主分类):G06T 7/00 申请日:20150430
实质审查的生效
2015-09-02
实质审查的生效 IPC(主分类):G06T 7/00 申请日:20150430
实质审查的生效
2015-08-05
公开
公开
2015-08-05
公开
公开
2015-08-05
公开
公开
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机译: 利用拉曼散射检查检查目标表面上的缺陷的装置和方法,能够通过使用拉曼散射检查晶圆表面和缺陷的缺陷的存在
机译: 一种制造用于基于表面增强拉曼散射检测目标物质的基板的方法,该基板通过方法和方法制造的基板用于使用相同检测目标物质的方法和方法
机译: 使用非周期性缺陷特征的散射测量目标,可以增强或优化目标对目标参数的敏感性