公开/公告号CN104535473B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-10-27
原文格式PDF
申请/专利权人 新奥科技发展有限公司;
申请/专利号CN201410840089.2
发明设计人 房艳;
申请日2014-12-29
分类号
代理机构北京中博世达专利商标代理有限公司;
代理人张娜
地址 065001 河北省廊坊市经济技术开发区华祥路新奥科技园南区B座522室
入库时间 2022-08-23 10:02:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-27
授权
授权
2015-05-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 15/08 申请日:20141229
实质审查的生效
2015-05-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 15/08 申请日:20141229
实质审查的生效
2015-04-22
公开
公开
2015-04-22
公开
公开
机译: 一种用于提供3D多孔径成像装置,多孔径成像装置和3D多孔径成像装置的输出信号的方法,以及用于捕获整个视野的方法。
机译: 使用具有图案化的孔径分辨器和图案化的孔径调制器的X射线检测器表征电子束的方法和装置
机译: 一种制备用于电子束的偏转孔径矩阵的方法-曝光装置,湿法蚀刻工艺以及-用于制造孔径矩阵和电子束的设备-具有该孔径矩阵的照明装置