公开/公告号CN104600415B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-11-14
原文格式PDF
申请/专利权人 环旭电子股份有限公司;环鸿科技股份有限公司;
申请/专利号CN201310528695.6
申请日2013-10-31
分类号H01Q1/22(20060101);H05K1/14(20060101);
代理机构31267 上海音科专利商标代理有限公司;
代理人张成新
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区集成电路产业区张东路1558号
入库时间 2022-08-23 10:02:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-14
授权
授权
2015-05-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01Q 1/22 申请日:20131031
实质审查的生效
2015-05-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01Q 1/22 申请日:20131031
实质审查的生效
2015-05-06
公开
公开
2015-05-06
公开
公开
机译: 硬掩模组合物,通过使用该硬掩模组合物形成图案的方法以及使用该硬掩模组合物形成的硬掩模
机译: 硬掩模组合物,使用硬掩模组合物形成图案的方法,以及由硬掩模组合物形成的硬掩模
机译: 硬掩模组合物,使用该硬掩模组合物形成图案的方法以及由该硬掩模组合物形成的硬掩模