法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-31
授权
授权
2016-02-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 13/06 申请日:20140529
实质审查的生效
2016-02-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 13/06 申请日:20140529
实质审查的生效
2014-08-27
公开
公开
2014-08-27
公开
公开
机译: 电容式压差传感器的微制造方法和以微技术制造的压差传感器
机译: 基于微流的压差传感器
机译: 基于微流的压差传感器