基于三维微细加工工艺的批量加工微探针的方法

摘要

一种基于三维微细加工工艺的批量加工微探针的方法，属于微细加工技术领域。本发明的具体步骤为：在基片上沉积金属做种子层；在沉积好的种子层上甩光刻胶，并进行前烘、曝光、后烘、显影；激光切割光刻胶顶部以得到顶部斜面结构；以光刻胶微结构为模子电铸金属模具；去除光刻胶，得到复制微针用金属模具；用金属模具复制聚合物微针。本发明不仅能实现低成本、批量化的微针加工，而且适宜加工的材料范围更为广泛，进一步拓宽了微探针在生物医学领域中的应用。