飞秒激光微细加工工艺及微器件加工研究

摘要

飞秒激光脉冲经强聚焦后，可以在很低的平均输出功率下实现GW/cm<'2>量级的瞬时激发光强，与连续激光和长脉宽的脉冲激光相比，能以极低的脉冲能量获得超强光场，并且激光辐照区淀积的能量难以通过热扩散途径逸出辐照区域。在与物质的相互作用中它能快速、准确地将能量作用在特定的区域内，从而可以获得诸如极高的分辨率和加工精度等优点。本文在国家自然科学基金重点项目

目录

文摘

英文文摘

第一章绪论

1.1微系统及微细加工技术

1.1.1 微系统简介及其当前研究现状

1.1.2微细加工技术概述

1.2飞秒激光微细加工概述

1.2.1激光微细加工技术及其研究现状

1.2.2飞秒激光微细加工现状

1.3论文课题来源及主要内容

第二章飞秒激光微细加工系统的研制和完善

2.1原加工系统介绍

2.2系统性能分析和功能扩展

2.2.1飞秒激光器稳定性分析

2.2.2倍频实现双波长微细加工光路

2.2.3加工平台的扩展

2.2.4系统软件介绍与功能扩展

第三章飞秒激光双光子微细加工技术

3.1飞秒激光双光子聚合原理及其数学模型

3.2飞秒激光双光子微细加工工艺研究

3.2.1加工单点分辨率

3.2.2加工线形与面形粗糙度分析

3.2.3最大模型与最小模型控制粗糙度与精度

3.2.4数学形态学提高加工精度

3.2.5变扫描步距加工

3.3飞秒激光双光子微细加工三维功能器件

3.3.1微透镜阵列

3.3.2微齿轮传动系

第四章 飞秒激光热熔烧蚀微细加工技术

4.1飞秒激光与材料热作用原理及其数学模型

4.2飞秒激光热熔烧蚀微细加工工艺

4.2.1飞秒激光脉冲能最序列模拟

4.2.2加工孔直径随脉冲数日的变化

4.2.3加工孔直径随脉冲能量的变化

4.3飞秒激光热熔烧蚀微细加工实例

4.3.1飞秒激光微图形化硅基压电陶瓷薄膜

第五章总结与展望

5.1总结

5.2展望

参考文献

发表的学术论文

致谢