液态光致抗蚀剂用苯乙烯马来酸酐改性树脂的合成方法

摘要

本发明属于化学合成技术领域，具体涉及一种液态光致抗蚀剂用苯乙烯马来酸酐改性树脂的合成方法。先将丙烯酸羟乙酯与脂肪族二异氰酸酯进行反应，得到半封异氰酸酯；再将二元醇与半封异氰酸酯进行封端反应，得到含双键的醇；最后将含双键的醇与苯乙烯马来酸酐共聚物进行反应，即得。本发明得到的改性SMA树脂作为液态光致抗蚀剂内的光敏树脂，与环氧改性SMA相比，侧链分子量较大，以此制备的液态光致抗蚀剂性能更加优异。