表面粗糙度测量单元和坐标测量设备

摘要

本发明涉及表面粗糙度测量单元和坐标测量设备。根据本发明的表面粗糙度测量单元包括：接触销单元，其具有接触销和变位检测器，接触销被设置成通过滑块的通孔突出和缩回并且沿着工件表面扫描和移动，变位检测器检测接触销在与工件表面垂直的方向上的变位；驱动部，其沿着工件表面前后移动接触销单元；以及接合部，其将接触销单元和驱动部连结到坐标测量系统的测量头保持件。表面粗糙度测量单元还包括检测滑块与工件表面的接触的接触检测器。