公开/公告号CN104517892B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-10-20
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201410521390.7
申请日2014-09-30
分类号H01L21/762(20060101);
代理机构31263 上海胜康律师事务所;
代理人李献忠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:02:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-20
授权
授权
2015-05-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/762 申请日:20140930
实质审查的生效
2015-05-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/762 申请日:20140930
实质审查的生效
2015-04-15
公开
公开
2015-04-15
公开
公开
机译: 使用PEALD和PECVD复合方法填充可变长宽比的特征
机译: 使用PEALD和PECVD复合方法填充可变长宽比的特征
机译: 使用PEALD和PECVD复合方法填充可变长宽比的特征