一种常压微波等离子体激发源装置及应用

摘要

本发明提供一种常压微波等离子体激发源，包括内管、中管、外管、校准垫、微波馈入接口、同轴电缆SMA接头、调谐活塞、侧端气体引入端口、下端气体引入端口和同轴通道。本发明具有三管同轴结构，形成具有中央通道的等离子体，既能在高功率微波状态下稳定工作，也能在低功率状态下被激发使用；常压下获得稳定的He等离子体，具很强的激发能力，测定范围广；能够减少背景发射，降低干扰；电离模式多样化：既可内管引入样品进行分析，也可直接对样品表面进行实时在线监测。本发明设计合理，结构简单，操作简单，应用广泛，可用于质谱离子源、光谱仪激发源等，且无需样品预处理、样品承受能力强、测定范围广。