测试光掩模、光斑评估方法以及光斑补偿方法

摘要

通过使用一个线图案以及一个带状图案，前者成为待测试的图案，后者成为一个光斑引起图案，它形成一个环绕着线图案的透光区域，并且令局部光斑出现在线图案之上，由于带状图案在线图案上生成的局部光斑的影响被测量为用于评估的线图案上的线宽。此外，这个测量数值被用来补偿局部光斑对每一个真实图案的影响。