有自定位的光纤共焦扫描显微镜

摘要

一种有自定位的光纤共焦扫描显微镜，包括照明光束输入部分(A)，光纤扫描部分(B)，与光纤扫描部分(B)交错置放的测量定位部分(C)，探测采样部分(D)和控制数据采集处理部分(E)。其中照明光束输入部分(A)、光纤扫描部分(B)、探测采样部分(D)和控制数据采集处理部分(E)构成光纤共焦扫描显微镜，而照明光束输入部分(A)、光纤扫描部分(B)和测量定位部分(C)构成准共焦小视场显微镜。也就是说，本发明的一台显微镜具有两种显微镜的功能，既有显微扫描层析成像的功能，又有一次成像的功能，即是对测定目标进行自定位的功能。适用于纳米深度，亚微米宽度的三维结构检测。