一种无液氦低温扫描隧道显微镜

摘要

本发明提供了一种无液氦低温扫描隧道显微镜。该无液氦低温扫描隧道显微镜包括：制冷机（10），制冷机（10）包括有制冷剂循环流动管，制冷剂在制冷剂循环流动管内循环流动制冷；以及真空室（20），连接至制冷机（10）上，并由制冷机（10）提供低温环境。该无液氦低温扫描隧道显微镜通过使制冷剂循环工作，不产生蒸发消耗就能够对扫描隧道显微镜探头进行制冷，达到所要求的低温环境，实现了无液氦消耗的效果，降低了低温扫描隧道显微镜的使用成本，并且适用于难以获得液氦的地区进行科研使用。