向射束加工系统内的工件提供一种或多种气体的方法和设备

摘要

公开了一种多种气体喷射系统。一种多位置阀被用于控制来自多个气体源的气流的目的地。在一个阀位，气体在引入样品真空室之前先流向隔离的真空系统，在其中可以调节流速和混合。在另一个阀位，预混合的气体从隔离的真空室流出并经过阀针流入样品真空室内。