一种用于激光跟踪仪的四象限传感器光斑偏移量测量方法

摘要

一种用于激光跟踪仪的四象限探测器光斑偏移量测量方法。基于该光斑偏移量测量方法，四象限探测器采用对角线法布置。当光斑刚好落在探测器的中心时，探测器四个象限输出的光电流信号幅值完全相等，偏差为零。当激光光斑相对于探测器中心产生偏移，探测器四个象限由于光辐射量不同输出不同的光电流信号。然后，分别对水平和垂直两路对角线上的信号做差，再对做差的信号归一化计算。接着，根据归一化信号与光斑偏移量的等量关系，得出偏移量的近似值，再利用泰勒展开对等量关系进行线性化处理后，求出偏移量近似值对应的改正值。最后，把近似值和改正值相加得到准确的光斑偏移量。本发明可以实时准确测量光斑偏移量，来提高激光跟踪仪的跟踪精度。