首页> 中国专利> 一种可调控结构形貌的氧化锌纳米结构制备方法

一种可调控结构形貌的氧化锌纳米结构制备方法

摘要

本发明公开了一种可调控结构形貌的氧化锌纳米结构制备方法,包括以下工艺步骤如下:(1)清洗衬底并吹干;(2)采用氩离子对经步骤一处理过的衬底表面进行轰击;(3)在衬底表面镀上金属锌薄膜;(4)将镀有金属锌薄膜的样品放入用于加热的有氧气氛中,以一定的速率升温到设定温度并保温;(5)保温一段时间后自然降至室温。本发明不采用任何催化剂,当衬底表面受到离子轰击的时间不断增加时,得到的氧化锌纳米结构从枝状形貌到枝状和线状混合形貌再到线状形貌的趋势变化,本发明可以在较低温度下,在各种衬底上制备不同形貌的大面积均匀的氧化锌纳米结构。

著录项

  • 公开/公告号CN105084414B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-09-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中山大学;

    申请/专利号CN201510489924.7

  • 发明设计人 陈军;张志鹏;邓少芝;许宁生;

    申请日2015-08-11

  • 分类号

  • 代理机构广州新诺专利商标事务所有限公司;

  • 代理人华辉

  • 地址 510275 广东省广州市新港西路135号

  • 入库时间 2022-08-23 10:01:17

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-09-26

    授权

    授权

  • 2015-12-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):C01G 9/02 申请日:20150811

    实质审查的生效

  • 2015-12-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):C01G 9/02 申请日:20150811

    实质审查的生效

  • 2015-11-25

    公开

    公开

  • 2015-11-25

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号