校正方法、电子元件的质量检查方法及特性测量系统

摘要

与参考测量系统不精确一致的实际测量结果被校正到与参考测量系统的测量结果相同的级别上。在参考测量系统和实际测量系统分别测量校正数据获得样本的电学特性以后，获得了实际测量系统的测量结果与参考测量系统的测量结果之间的关系等式。这样，通过将实际测量系统测量的目标电子元件的电学特性代入到关系式中进行计算，目标电子元件的电学特性就能够被校正为假定由参考测量系统所获得的电学特性。